近日，我国“极紫外光刻关键技术研究”项目验收会在长春光学精密机械与物理研究所召开，现场在众多评审专家的见证下，验收通过了该项目取得的一系列成果，大大推进了我国极紫外光刻技术的研发。 什么是极紫外光刻？
极紫外光刻机 简单说，极紫外光刻就是一种采用波长13.5nm极紫外光为工作波长的投影光刻技术，它代表了当前应用光学发展最高水平。而作为下一代光刻技术，被行业赋予了拯救摩尔定律的使命。
CPU处理器 我国中科院长春光机所自上世纪90年代就在此领域展开了相关研究，但受限于国外设备技术封锁，以及自身技术薄弱等原因，进展一直远远落后国外发展速度。2008年为了追赶国外技术水平，我国将32-22nmEUV光刻技术列为重要攻关任务，经过近8年的艰苦奋战、潜心钻研，我国才最终取得成功，顺利打破了国外在该领域的技术封锁。
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